学术报告：光刻关键技术与精密光学检测方法

一、报告题目：光刻关键技术与精密光学检测方法

二、报告时间：2018年6月28日（星期四）下午3：00

三、报告地点：物理实验楼一楼阶梯教室

四、报告人简介：

许爽，博士，讲师，硕士生导师。2016年毕业于华中科技大学机械科学与工程学院，获工学博士学位，现任武汉科技大学机械自动化学院测控技术与仪器系、冶金装备及其控制教育部重点实验室、机械传动与制造工程省级重点实验室讲师、硕士生导师。长期从事纳米光学测量技术与仪器方面的研究工作，主持省自然科学基金、省科学技术研究计划项目等，参与国家重大科学仪器设备开发专项、国家重大专项课题、 国家自然科学基金、高等学校博士学科点专项科研基金等多项国家级研究项目。在微纳测试技术、光学精密仪器、微纳制造技术等方面开展创新研究，在Opt.Express、Opt.Lett.、Journal of Optics等SCI/EI期刊发表论文8篇，获得中国发明专利2件，在国际学术会议做报告4次。被英国皇家物理学会（IOP）配发专辑访谈（LabTalk），推介研究成果。

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